Интегральные датчики и микромеханические приборы

Есипов, В.Н.
Интегральные датчики и микромеханические приборы : метод. указания по проведению практ. занятий : напр.. 200100.68 / В.Н. Есипов ; ОрелГТУ, Каф. "ПМиС" . - Орел : Изд-во ФГБОУ ВПО "Госуниверситет - УНПК" , 2011. - 9 с.

Данная дисциплина отражает современные тенденции развития приборостроения. Как в нашей стране, так и за рубежом наблюдается устойчивый рост интереса к разработкам интегральных датчиков, что связано с возможностью эффективного решения с их помощью целого ряда задач конт роля и управления в самых различных областях. Возможности измерительных систем всегда определялись характеристиками первичных преобразователей. Для повышения точности, надежности, временной стабильности и снижении энергопотребления датчиков на современном этапе появилась тенденция их микроминитюризации. Происходит это в основном благодаря интегральным технологиям, заимствованным из микроэлектроники с соответствующим развитием, а чувствительные элементы самих датчиков изготавливаются из кремния групповым спо собом.
Сервисная электроника датчиков первичной информации увеличивает степень интеграции, и в настоящее время осуществляется переход от гибридных интегральных схем со многими активными и пассивными компонентами на керамической подложке к специальным большим интегральным схемам на одном кремниевом кристалле.
Введение соответствующей дисциплины в ООП позволяет ознакомить студентов с мировыми тенденциями развития измерительной техники, углубить фундаментальные и прикладные знания.
Предметом изучения дисциплины являются:
- современное состояние и области применения ИД и МП;
-материалы применяемы в производстве ИД и МП:
-содержание технологических процессов производства ИД и МП:
-разновидности и особенности микромеханических чувствительных элементов:
-принципы построения, основы теории, расчѐта и точностных характеристик ИД и МП различных величин.