Технологические основы микроэлектроники

КОСЧИНСКАЯ, Елена Викторовна
Технологические основы микроэлектроники : метод. указания по выполнению лаб. работ : напр. 210200 / Елена Викторовна Косчинская ; ОрелГТУ, Каф. "ПТЭиВС" . - Орел : Изд-во ОрелГТУ , 2005. - 36 с.

Настоящие методические рекомендации посвящены выработке у студентов практических навыков анализа и синтеза технологических процессов производства интегральных микросхем.
Методические указания содержат описание лабораторных работ, необходимые теоретические сведения и список литературных источников.
Предназначены для студентов, обучающихся по направлению 210200 "Проектирование и технология электронных средств", при изучении дисциплины "Технологические основы микроэлектроники ".