Модель дефектообразования в тонкопленочных покрытиях

Фроленков, Константин Юрьевич
Модель дефектообразования в тонкопленочных покрытиях / Константин Юрьевич Фроленков, В. С. Шоркин, Лариса Юрьевна Фроленкова / / Упрочняющие технологии и покрытия. - 2008. - N10. - С. 3-7.

Рассмотрены основные причины старения тонкопленочных вакуумных конденсатов на стеклянной основе. Выдвинута гипотеза о взаимосвязи изменения относительной дефектной площади тонкопленочных покрытий и уменьшения в них внутренних напряжений с течением времени. Материал пленки считается вязкоупругим, подчиняющимся реологическому соотношению Максвелла-Томсона, на основании этой гипотезы получили и экспериментально проверили математическую модель кинетики дефектообразования в тонкопленочных вакуумных конденсатах при нормальных условиях их хранения и эксплуатации. Удовлетворительное согласие расчетных и экспериментальных данных позволяет рекомендовать разработанную модель для качественной и количественной оценки процесса старения тонкопленочных покрытий, полученных методом конденсации в вакууме.